氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)積按(an)形成的(de)基本原理，分(fen)為化(hua)學氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)積（CVD）和物(wu)理氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)積（PVD）。氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)沉(chen)積是在工件(jian)表(biao)面覆蓋一(yi)(yi)層(ceng)厚度為0.5～10μm的(de)過渡族(zu)元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形成的(de)化(hua)合物(wu)，或(huo)單(dan)一(yi)(yi)的(de)金屬(shu)及(ji)非(fei)金屬(shu)涂(tu)層(ceng)，使零件(jian)表(biao)層(ceng)改變化(hua)學成分(fen)，并在其表(biao)面形成功能(neng)性(xing)（例如超(chao)硬耐磨層(ceng)）或(huo)裝飾性(xing)的(de)化(hua)合物(wu)涂(tu)層(ceng)的(de)新技(ji)術，現已(yi)廣泛(fan)應用(yong)于各(ge)類零件(jian)的(de)硬化(hua)處理。沉(chen)積層(ceng)的(de)主(zhu)要(yao)類別(bie)及(ji)特性(xing)見表(biao)3-38。
主(zhu)要(yao)應用的(de)沉積(ji)層(ceng)TiC、TiN涂層(ceng)有以下(xia)特點(dian)：
a. 涂層(ceng)有很(hen)高的硬(ying)度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和(he)自潤(run)滑性能，所以(yi)抗磨粒磨損性能良(liang)好。
b. 涂層(ceng)具有(you)很(hen)高的熔點(dian)（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學穩定性好，基體金屬在涂層(ceng)中(zhong)的溶解度(du)小(xiao)，摩擦因數較低，因而具有(you)很(hen)高的抗粘著磨損能力，使用中(zhong)發生冷焊和咬合的傾向也很(hen)小(xiao)，而且TiN比(bi)TiC更好。
c. 涂層(ceng)有較強的耐蝕(shi)性(xing)，TiC涂層(ceng)在硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氯化鈉水溶液中的耐蝕(shi)性(xing)良好，而且TiN的耐蝕(shi)性(xing)一(yi)般都比TiC更(geng)好一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
